LB382
Mjerni standard |
AURODUR mjerna traka |
Mjerni signali |
Inkrementalni - 1Vpp |
Konstrukcija |
Zatvorena |
Klasa tocnosti |
+/-5um |
Preporuceni mjerni korak |
10-0.1 um |
Referentni signal |
1 ili duzinsko-kodiran |
|
LC183
Mjerni standard |
DIADUR staklo |
Mjerni signali |
Apsolutni - EnDat |
Konstrukcija |
Zatvorena |
Klasa tocnosti |
+/-3um |
Preporuceni mjerni korak |
0.05-0.005 um |
Referentni signal |
nema |
|
LC193M
Mjerni standard |
DIADUR staklo |
Mjerni signali |
Apsolutni - Mitsubishi |
Konstrukcija |
Zatvorena |
Klasa tocnosti |
+/-3um |
Preporuceni mjerni korak |
0.05-0.005 um |
Referentni signal |
nema |
|
LF183
Mjerni standard |
DIADUR fazna resetka na celiku |
Mjerni signali |
Inkrementalni - 1Vpp |
Konstrukcija |
Zatvorena |
Klasa tocnosti |
+/-3um |
Preporuceni mjerni korak |
1-0.1 um |
Referentni signal |
1 ili duzinsko-kodiran |
|
LS177
Mjerni standard |
DIADUR staklo |
Mjerni signali |
Inkrementalni - TTL |
Konstrukcija |
Zatvorena |
Klasa tocnosti |
+/-3um |
Preporuceni mjerni korak |
1-0.1 um |
Referentni signal |
1 ili duzinsko-kodiran |
|
LS187
Mjerni standard |
DIADUR staklo |
Mjerni signali |
Inkrementalni - 1Vpp |
Konstrukcija |
Zatvorena |
Klasa tocnosti |
+/-3um |
Preporuceni mjerni korak |
1-0.1 um |
Referentni signal |
1 ili duzinsko-kodiran |
|
LS628C
Mjerni standard |
DIADUR staklo |
Mjerni signali |
Inkrementalni - TTL |
Konstrukcija |
Zatvorena |
Klasa tocnosti |
+/-10um |
Preporuceni mjerni korak |
5 um |
Referentni signal |
duzinsko-kodiran |
|
LS688C
Mjerni standard |
DIADUR staklo |
Mjerni signali |
Inkrementalni - 1Vpp |
Konstrukcija |
Zatvorena |
Klasa tocnosti |
+/-10um |
Preporuceni mjerni korak |
1 um |
Referentni signal |
duzinsko-kodiran |
|