LF183

Mjerni standard	DIADUR fazna resetka na celiku
Mjerni signali	Inkrementalni - 1Vpp
Konstrukcija	Zatvorena
Klasa tocnosti	+/-3um
Preporuceni mjerni korak	1-0.1 um
Referentni signal	1 ili duzinsko-kodiran
Period signala	4 um