Veća slika| Mjerni standard | DIADUR staklo |
| Mjerni signali | Apsolutni - FANUC |
| Konstrukcija | Zatvorena |
| Klasa tocnosti | +/-3um |
| Preporuceni mjerni korak | 0.05-0.005 um |
| Referentni signal | nema |
| Period signala | 20 um |
| Mjerni standard | DIADUR staklo |
| Mjerni signali | Apsolutni - FANUC |
| Konstrukcija | Zatvorena |
| Klasa tocnosti | +/-3um |
| Preporuceni mjerni korak | 0.05-0.005 um |
| Referentni signal | nema |
| Period signala | 20 um |
